Оптический профилометр RM W1 - это специальное устройство, которое используется для измерения формы и шероховатости поверхности на нанометровом уровне с помощью технологии интерферометрии белого света. Этот прибор предназначен для проведения точных и бесконтактных измерений на различных поверхностях, включая прецизионные устройства и материалы.
Принцип работы профилометра основан на использовании интерференции белого света, а также точном сканировании поверхности по направлению Z, алгоритмах 3D-моделирования и других технологиях. При помощи системного программного обеспечения производится анализ полученных данных и создание трехмерного изображения поверхности устройства.
Оптический профилометр RM W1 позволяет получить параметры 2D и 3D, которые отражают качество поверхности устройства. Это ценный инструмент для оптического обнаружения и измерения топографии поверхности в различных отраслях, таких как производство полупроводников, тестирование процессов упаковки, производство электронных стеклянных экранов, оптическая обработка, микро- и наноматериалы, автозапчасти, устройства MEMS и другие.
Использование оптического профилометра RM W1 позволяет повысить качество производства и контроль за поверхностными характеристиками различных устройств и материалов.
Существует более 300 видов параметров 2D и 3D в четырех отечественных и зарубежных стандартах в качестве критериев оценки.
Функции продукта:
- Одна из основных функций этого устройства - трехмерная реконструкция контура и измерение различных типов микроскопической топографии поверхности образца.
- Оно также позволяет обнаруживать шероховатость поверхности и микропрофиль, а ее диапазон охватывает уровни от 0,1 нм до десятков микрон.
- Устройство обладает функциями обработки данных, такими как выравнивание, удаление формы, шумоподавление и фильтрация.
- Оно также способно анализировать параметры поверхности, включая шероховатость, контуры, структуру и функциональные характеристики.
- Кроме того, оно оснащено автоматической фокусировкой, автоматическим измерением, автоматическим многозонным измерением, автоматическим сшиванием и другими автоматическими функциями.
- Устройство обладает быстрыми функциями пакетного анализа, такими как одноклавишный анализ и многофайловый анализ.
- Кроме того, оно обеспечивает возможность экспорта данных в форматах Word, Excel и других.
Такое устройство находит применение в различных областях, включая анализ характеристик топографии поверхности, таких как плоскостность, шероховатость, волнистость, профиль поверхности, дефекты поверхности, износ, коррозия, поровые зазоры, высота уступов, деформация изгиба и обработка поверхности различных изделий, компонентов и материалов.
|
Полупроводники/ Полированные кремниевые пластины, утонченные кремниевые пластины, полупроводниковые ИС
|
|
|
|
|
3C Electronics, шероховатость сапфирового стекла, дефекты формы металлического корпуса мобильного телефона, разница в высоте экрана чернил мобильного телефона |
|
|
|
|
Ультраточная обработка/ Оптическая линза |
Прецизионная обработка/ Лопасти двигателя
|
|
|
|
Прецизионная обработка/ Пирамидальная алмазная головка |
Стандартный блок/ Шаг с одной шкалой, шероховатость с несколькими шкалами
|
|
|
Рабочие характеристики:
1. Высокая точность и высокая повторяемость.
Измерительная система состоит из технологии оптических помех, точного модуля сканирования в направлении Z и превосходного алгоритма 3D-реконструкции для обеспечения высокой точности измерений;
Уникальная система виброизоляции может эффективно изолировать большинство вибраций с частотой выше 2 Гц, устранять шум вибрации земли и шум вибрации звуковых волн в воздухе, гарантировать, что прибор можно стабильно использовать в большинстве производственных цехов, и получить чрезвычайно высокую повторяемость измерений.
2. Интегрированное программное обеспечение для измерения и анализа операций
Измерение и анализ выполняются в одном интерфейсе, без переключения, данные измерений подсчитываются автоматически, реализована функция быстрого пакетного измерения;
Окно визуализации, в котором пользователям удобно наблюдать за процессом сканирования в режиме реального времени;
Завершены пять функциональных модулей геометрического анализа, анализа шероховатости, структурного анализа, частотного анализа и функционального анализа;
Анализ одним щелчком мыши, многофайловый анализ, элементы анализа свободной комбинации сохраняются в виде шаблонов анализа, предоставляется анализ проб партии одним щелчком мыши, а также функции анализа данных и статистических диаграмм;
Более 300 параметров 2D и 3D могут быть измерены в соответствии со стандартами ISO/ASME/EUR/GBT и другими стандартами.
3. Точный джойстик
Джойстик со встроенными функциями регулировки смещения по осям X, Y, Z позволяет быстро выполнять предварительные измерения, такие как перемещение предметного столика, фокусировка по оси Z и обнаружение интерференционных полос.
4. Двойные меры защиты от столкновений
В дополнение к основному программному обеспечению ZSTOP, устанавливающему нижний предел смещения в направлении Z для защиты от столкновений, мехатронный датчик разработан на оси Z. Когда линза касается поверхности образца, прибор автоматически переходит в состояние аварийной остановки для максимальной защиты прибора, что снижает риск эксплуатации для человека.
5. Двухканальная воздушно-плавающая система виброизоляции.
Его можно подключить к стабильному источнику воздуха на объекте заказчика или к стандартному бесшумному воздушному компрессору, который может стабильно работать без внешнего источника воздуха.
Примеры применений:
Измерение и анализ формы и профиля поверхности различных изделий, компонентов и материалов, а также таких характеристик как:
- плоскостность
- шероховатость
- волнистость
- внешний вид
- дефект поверхности
- истирание
- коррозия
- зазор
- отверстие
- ступень
- кривизна
- деформация и т.д.
Технические характеристики:
|
RM W1 |
RM W1-Pro |
||
|
Источник излучения |
Белый/ Зеленый LED |
||
|
Видеосистема |
1024×1024 |
||
|
Стандартное поле обзора |
0.98×0.98 мм |
||
|
Максимальное поле обзора (опция) |
6.0×6.0 мм |
||
|
Предметный столик |
Размер |
320×200 мм |
300×300 мм |
|
Диапазон перемещения |
140×100 мм |
200×200 мм |
|
|
Нагрузка |
10 кг |
||
|
Управление |
Моторизованное |
||
|
Наклон |
±5° Ручной |
||
|
Максимальное перемещение по оси Z |
100 мм (моторизованное) |
||
|
Диапазон сканирования по оси Z |
10 мм |
||
|
Скорость сканирование по оси Z |
45 мкм/с |
||
|
Разрешение по оси Z |
0.1 нм |
||
|
Латеральное разрешение |
0.1 мкм |
||
|
Измеряемые объекты |
Супергладкая поверхность, шероховатая поверхность; отражательная способность 0,05%~100% |
||
|
Точность сканирования |
Точность |
0.7% |
|
|
Повторяемость |
0.1% 1σ |
||
|
Электропитание |
AC100~240В, 50/60Гц, 4A, 300Вт |
||
|
Габариты (ДхШхВ) |
900х700х60 мм |
900х700х1500 мм |
|
|
Вес |
<150 кг |
<160 кг |
|
Стандартная конфигурация:
- Главный блок
- Высокоскоростная камера
- Оптическое увеличение: 0.5X
- Парфокальный объектив: 10Х
- Моторизованный XY предметный столик
- Ручная 3-х позиционная турель
- Эталон 4,7 мкм
- Джойстик
- Программное обеспечение 3D Vision с функцией автоматического сшивания
- Электронный блок управления
- Компьютер (WIN10) и 24" монитор
- Кейс для инструментов/принадлежностей
- Портативный воздушный насос
- Руководство пользователя и паспорт
-
Парфокальные объективы: 2.5X, 5X, 10X, 50X, 100X
-
Оптическое увеличение: 0.75X, 1X
-
Вакуумный держатель 4", 6" или 8"
-
Моторизованная 5-ти позиционная турель
- Отсутствие сильного магнитного поля
- Рабочая температура: 15oC~30oC, колебания <2oC / 60 мин
- Относительная влажность: 5%~95% RH, без конденсата
- Вибрация окружающей среды: VC-C или лучше
- Подача давления: 0.6 МПа безмасляный компрессор, без воды, 6 мм диаметр шланга
A: После установки аналитической программы более 10 файлов могут быть проанализированы одним щелчком мыши, результаты анализа и статистический график генерируется автоматически.
B: Частичное измерение: можно выбрать любую область в поле зрения для измерения.
C: Автоматическое измерение: после установки диапазонов и точек измерения и соответствующих параметров можно проводить измерения на нескольких участках.
D: Сшивание измерений: после установки диапазона измерения и параметров большая площадь может быть измерена одним щелчком мыши автоматически.
E: Настройка параметров: после предварительной настройки параметров выравнивания, фильтрации и параметров 2D и 3D, данные могут быть измерены и сгенерированы автоматически в соответствии с заданной программой.
F: Рабочая зона 2D и 3D изображения.
G: Окна анализа: отображение кривых и данных, сгенерированных настоящим инструментом анализа.
H: Окно видео в реальном времени.
